盐酸汽提法是将浓盐酸置于汽提塔中，加热汽提，制备氯化氢气体。它是在20世纪70年代末开发的。然后经过一系列常温、低温干燥、吸附脱除水和二氧化碳后，压缩至1.2Mpa，进行低温蒸馏，然后进行低温吸附脱氮，压缩装瓶前压力为4.2Mpa。
    生成方法是，20世纪70年代之前，电子工业用高纯氯化氢的制备一直是将浓硫酸滴入浓盐酸中，吸收其中的水，使过饱和氯化氢气体沉淀出来。20世纪70年代至80年代初，发展了用浓硫酸与干燥食盐反应生成高纯度氯化氢气体，然后用压缩机压入钢瓶的制备方法。
    该合成方法是利用氯气和氢气在合成炉中进行燃烧反应，生成氯化氢气体。是在20世纪80年代初为适应我国电子工业的快速发展而提出的。它在技术上是先进的。从合成炉出来的氯化氢气体常常处于高温和低温状态。干燥吸附净化，低温低压冷凝，除去不凝性气体杂质，液态装瓶。氯气与氢气的合成中，氢气过量约5%，氯化氢气体含氢量较高，因此采用间歇精馏装置除去氢气。另外，原料氢通过钯膜扩散纯化，生产规模受到一定限制。